真空泵是一種從設(shè)備或容器中抽出空氣以產(chǎn)生真空的裝置。真空泵由泵體、排氣口和進(jìn)氣口組成。目前已開發(fā)出多種用于在泵中產(chǎn)生真空的機(jī)制。

真空度有低、中、高等多種等級，需要根據(jù)所需的真空度、達(dá)到真空所需的時(shí)間、使用的溫度環(huán)境等來選擇合適的真空泵。根據(jù)是否使用油，真空泵分為干泵和濕泵。

真空泵應(yīng)用
真空泵廣泛應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)備和制造工藝、食品工廠、電氣設(shè)備以及半導(dǎo)體制造工藝。此外，真空泵還被用作醫(yī)療設(shè)備和理化設(shè)備等需要真空的設(shè)備的輔助設(shè)備。目前已開發(fā)出10多種不同的真空泵原理，需要了解每種原理的特性才能選擇合適的真空泵。

真空泵的主要用途有：

牙科治療用唾液抽吸裝置
在保溫瓶中制造真空
在半導(dǎo)體工藝中使用等離子體時(shí)創(chuàng)建真空環(huán)境
粘合食品包裝材料時(shí)
實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的真空源（蒸發(fā)器、過濾器、真空干燥器、干燥器等）
工廠生產(chǎn)設(shè)備用大容量真空泵
真空泵原理
真空泵根據(jù)其工作原理進(jìn)行分類，下面介紹*代表性的泵的工作原理。

1.油旋片真空泵
油回轉(zhuǎn)真空泵是利用旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將吸入的空氣排出的真空泵，是使用油來提高氣密性的濕式泵的稱。也被稱為旋轉(zhuǎn)真空泵。

泵的種類繁多，包括旋片式油回轉(zhuǎn)真空泵、凸輪式油回轉(zhuǎn)真空泵和擺動(dòng)活塞式油回轉(zhuǎn)真空泵。連接轉(zhuǎn)子、凸輪和活塞的擺動(dòng)部件的形狀以及與空氣接觸的部件各不相同，但所有類型的泵都是通過轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)排出空氣來產(chǎn)生真空的。

由于使用油，油的蒸汽壓是真空的極限，但油可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的性能，并且使用小型裝置即可輕松實(shí)現(xiàn)中等真空。

2.油擴(kuò)散真空泵
油擴(kuò)散真空泵由鍋爐、噴嘴和冷凝器組成。油在鍋爐中被加熱成蒸汽，然后以音速通過噴嘴噴射，將泵內(nèi)的空氣分子從排氣口排出。蒸發(fā)后的油在冷凝器中變成液態(tài)油并被重新利用。

3.旋片式干式真空泵
旋片式干式真空泵是一種利用旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和葉片從吸氣口吸入空氣，然后將其排出的真空泵，不使用油。由于無法防止空氣回流，因此只能達(dá)到低真空狀態(tài)，但可以實(shí)現(xiàn)較高的排氣速度。

4.擺動(dòng)活塞式干式真空泵
擺動(dòng)活塞式干式真空泵是利用與偏心旋轉(zhuǎn)軸連接的活塞將空氣推出來排氣的真空泵。由于其結(jié)構(gòu)上的原因，無法防止空氣回流，因此僅限于低真空狀態(tài)，但維護(hù)方便。

5.隔膜式干式真空泵
隔膜泵（膜片泵）是一種利用橡膠、樹脂或金屬等材料制成的隔膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)與止回閥相結(jié)合來輸送流體的泵。用作真空泵時(shí)，由于使用了止回閥，因此無需使用油來保證氣密性，因此可以作為干式泵使用。泵通過往復(fù)運(yùn)動(dòng)，反復(fù)從需要形成真空的一側(cè)吸入空氣并將其排放到大氣中，從而形成真空。

6.渦旋式干式真空泵
渦旋式干式真空泵是一種利用渦卷狀定子和轉(zhuǎn)子的運(yùn)動(dòng)來排氣的干式真空泵。渦卷運(yùn)動(dòng)將空氣吸入中心，再從中心排出。

7.渦輪分子泵
渦輪分子泵是一種渦輪形狀的干式真空泵。它通過使渦輪葉片以接近分子熱運(yùn)動(dòng)的高速旋轉(zhuǎn)來進(jìn)行真空排氣，并根據(jù)渦輪葉片的傾斜度使分子運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生偏向。為了使渦輪葉片能夠高速旋轉(zhuǎn)，必須在一定的真空度下使用，因此經(jīng)常與其他真空泵組合使用。

如何選擇真空泵
選擇真空泵時(shí)，要根據(jù)達(dá)到的真空度、抽氣時(shí)間、抽氣量等來確定泵的類型，真空度有低、中、高之分，每種真空度都有適合的真空泵。

1. 低真空真空泵
對于低真空，有隔膜干泵、擺動(dòng)活塞干泵和旋片干泵。隔膜干泵沒有旋片干泵那樣的滑動(dòng)部件，因此不會(huì)因攪拌而產(chǎn)生細(xì)小顆粒，可以獲得清潔的真空。擺動(dòng)活塞干泵結(jié)構(gòu)簡單，易于維護(hù)。旋片干泵可以獲得高排氣速度。

2.中型真空泵
對于中等真空應(yīng)用，有渦旋泵和油回轉(zhuǎn)泵兩種類型。許多渦旋泵通過兩級壓縮來確保效率，并且振動(dòng)和噪音較低。顧名思義，油回轉(zhuǎn)泵效率高，并且由于采用油潤滑和密封，具有良好的真空穩(wěn)定性。

3.高真空泵
在高真空用途中，有利用兩個(gè)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子進(jìn)行吸入和壓縮的羅茨式（機(jī)械增壓）真空泵、由多臺(tái)羅茨泵組合而成的多級羅茨真空泵，以及結(jié)構(gòu)簡單、排氣速度快的油擴(kuò)散真空泵。此外，還有渦輪分子泵和低溫泵等用于高真空用途的泵。

由于真空泵的種類繁多，因此了解它們的特性和特點(diǎn)并選擇適合您應(yīng)用的真空泵非常重要。

真空泵的使用方法
在使用真空的設(shè)備中，會(huì)根據(jù)達(dá)到的真空度和抽真空時(shí)間來選擇真空泵。但是，由于真空度越高，抽真空速度越慢，而且有些高真空泵無法在大氣壓下使用，因此有時(shí)會(huì)組合使用真空泵，而不是單獨(dú)使用。

例如，通過切換“排氣速度快的低真空泵”和“高真空泵”并一起使用或同時(shí)使用，即使在高真空下也能達(dá)到一定的排氣速度。

具體的例子是先用油旋轉(zhuǎn)泵將真空抽至低真空范圍（粗抽），然后再切換到機(jī)械增壓泵將真空抽至高真空（*終抽真空）的方法。

此外，可將兩種真空泵連接在一起，通過中/低真空泵在大氣壓力下使用高真空泵。