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SB100A/21A四探針金屬/半導(dǎo)體電阻率測量儀應(yīng)用說明
SB100A/21A是SB100A/21(及SB100A/3)的升級(jí)版,其為用戶提供了使用SB100A/3進(jìn)行四探針測試及實(shí)驗(yàn)的配套軟件,可運(yùn)行于PC機(jī)上,能兼容運(yùn)行在Winxp和Win7系統(tǒng)中,用于自動(dòng)獲取實(shí)驗(yàn)臺(tái)的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),并根據(jù)條件生成曲線和報(bào)表,輔助實(shí)驗(yàn)人員自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn),直觀的分析數(shù)據(jù),獲得實(shí)驗(yàn)結(jié)論,保存實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。本產(chǎn)品的電阻測量范圍可達(dá)10-5—105Ω。
該測量儀由SB118/21型精密電壓電流源,SB120/2四探針樣品測試平臺(tái)及1臺(tái)電腦(選購),并附有配套的軟件系統(tǒng)等組成。產(chǎn)品的硬件詳情可參見SB100A/21及相應(yīng)產(chǎn)品的介紹 。
該產(chǎn)品的軟件系統(tǒng)為用戶提供參數(shù)設(shè)置、實(shí)驗(yàn)流程、實(shí)驗(yàn)方式、數(shù)據(jù)分析、曲線報(bào)表,并在后臺(tái)數(shù)據(jù)庫中進(jìn)行長期保存,實(shí)驗(yàn)人員可以查詢以前的任何一次實(shí)驗(yàn)的結(jié)果、所有的曲線和報(bào)表都可提供打印功能。
SB118/21型精密直流電壓電流源 (帶RS232C接口,詳見該產(chǎn)品使用說明書)
直流電壓源:輸出電壓范圍 0~50V 分20mV、200mV、2V、20V、50V五檔,每檔輸出電壓可連續(xù)調(diào)節(jié),*分辨力為1μV,基本wu差為0.05%RD±0.02%FS。
數(shù)字電壓表(4?LED)利用電壓源部分“取樣”端可對(duì)被測電壓進(jìn)行測試,測量量程為20mV、200mV、2V、20V、50V(200V),*分辨力為可達(dá)1μV,基本wu差:0.05%RD±0.02%FS。
直流電流源:輸出電流范圍 0~200mA 分20μA、200μA、2mA、20mA、200mA五檔,每檔輸出電流可連續(xù)調(diào)節(jié),*分辨力為1nA,基本wu差為0.03%。
儀器后面板配有一個(gè)為PC/RS232C接口連接至PC機(jī)上,可利用PC機(jī)上的“級(jí)終端”獲得儀器的測量數(shù)據(jù)。
SB120/2四探針樣品平臺(tái)(詳見該產(chǎn)品使用說明書)
為被測薄膜樣品,利用四探針測量方式測量導(dǎo)體/半導(dǎo)體樣品的電阻和電阻率,提供了方便。
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