MIYUKI美幸輝 真空閥 AER-J250
MIYUKI美幸輝 真空閥 AER-J250
L 型閥
AB/AE/ABR/AER 系列
軸封方式(波紋管密封、O 形圈密封)可根據(jù)使用目的選擇。
16A~50A 可用于單作用和雙作用。
所有尺寸均與反壓兼容。
真空閥(Vacuum Valve)是專門用于真空系統(tǒng)中控制氣體流動、調(diào)節(jié)壓力或隔離真空環(huán)境的閥門。由于真空系統(tǒng)對密封性、材料放氣率和耐壓差有嚴格要求,真空閥的設計與普通閥門有顯著區(qū)別。
真空閥根據(jù)工作原理可分為:
截止型真空閥(如真空擋板閥、真空蝶閥)——用于切斷或接通氣流。
調(diào)節(jié)型真空閥(如真空微調(diào)閥、針閥)——用于控制氣體流量和壓力。
放氣閥(如真空破空閥)——用于向真空腔體引入大氣,平衡壓力。
真空閥廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、航天模擬、粒子加速器、醫(yī)療設備等領域,是真空系統(tǒng)不可或缺的關鍵組件。
真空閥的應用領域
半導體與微電子制造
用于晶圓加工、刻蝕、CVD(化學氣相沉積)和PVD(物理氣相沉積)設備,控制工藝腔體的真空度。
真空鍍膜與光學涂層
在磁控濺射、電子束蒸發(fā)等鍍膜設備中,真空閥用于隔離不同腔室,確保鍍膜均勻性。
科研與實驗室設備
粒子加速器、同步輻射裝置、質(zhì)譜儀等高真空系統(tǒng)依賴高精度真空閥維持穩(wěn)定運行。
航天與空間模擬
用于衛(wèi)星、航天器地面測試,模擬太空真空環(huán)境,確保設備在極端條件下的可靠性。
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